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金相制样的抛光工序中,选对抛光布,是实现低变形、抑制浮凸的关键。抛光布的基材与回弹性,是选型的核心依据。
粗抛阶段优先选用低回弹硬质布,有助于保持试样边缘锐度;相较于中抛,粗抛工序去除量更大、耗时更长,依靠硬质布可获得更高的材料去除效率。中抛可搭配不同回弹特性的抛光布,选型主要取决于试样基材以及本次抛光要达成的工艺目标。终抛则选用高回弹抛光布,控制抛光时长,减少浮凸产生。
抛光布是金相制样中容易被忽略,却直接决定成像品质的核心耗材。同一套磨抛工艺,如果抛光布选型失当,容易残留划痕、形成变形层、造成试样边缘倒角,进而产生组织假象。
此前我们介绍过标乐常用的十款抛光布,本文从十款常用抛光布中选取应用频次更高的四款。这四款在对应抛光工序中的使用频率,显著高于其他同工序抛光布。
粗抛:UltraPad 为白色无绒硬机织布(Hard woven, no nap),采用交叉编织结构,磨料颗粒可嵌入织物内部,实现高效材料去除。该织物压缩量小,能够对游离磨料施加有效压力,在充分去除材料的同时维持试样表面平整。交叉编织的结构适用于粗抛工序,磨削去除能力优于无纺布。UltraPad 现场常搭配9μm金刚石抛光液用于粗抛。

中抛:VerduTex 为绿色无绒中等硬度人造丝机织布(Medium hard, synthetic silk),内置阻隔膜。它由极薄的人造丝面层复合硬质背衬制成,背衬可传递抛光盘的平面度。该款抛光布利于保持试样边缘完整,能够提供良好的平面度与表面光洁度。VerduTex 多搭配3μm或1μm金刚石抛光液用于中抛。

终抛:MicroCloth 是标乐终抛系列中的经济型植绒抛光布,咖啡色,基材为柔软长绒人造丝(Soft synthetic rayon, long nap)。植绒纤维可拂拭试样,去除中抛遗留的细微划痕。在实际制样中,MicroCloth 常搭配0.05μm MasterPrep 氧化铝抛光液、0.06μm MasterMet 二氧化硅抛光液或是0.02μm MasterMet 2 二氧化硅抛光液。

终抛:ChemoMet 是标乐终抛系列里“压轴”的抛光布,为黑色柔软多孔聚合物合成材质,具有良好的耐化学腐蚀性能(Soft synthetic, porous, chemically resistant)。推荐搭配粒径1μm-0.02 μm氧化物抛光液。ChemoMet 现场常规应用多与0.05μm MasterPrep氧化铝抛光液、0.06μm MasterMet 二氧化硅抛光液或是0.02μm MasterMet 2 二氧化硅抛光液配合进行终抛。

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