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组合拳法:混合型氧化物抛光悬浮液的“协同效应”
——QMAXIS(可脉)终抛经验总结之三
——QMAXIS(可脉)终抛经验总结之三
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- 作者:超级管理员
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- 发布时间:2026-09-17 10:03:49
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【概要描述】

当大多数实验室还在氧化铝和二氧化硅之间二选一时,金相耗材的创新已悄然迈入下一程——混合型氧化物抛光悬浮液登台亮相。
所谓混合,不是简单倒在一起搅拌。而是利用先进的数字控制工艺,将不同氧化物磨料按精确比例合成,取长补短,寻求多项抛光性能的均衡兼顾,实现单一氧化物难以达到的终抛效果。
本文介绍两款适合特殊应用场景的典型混合型终抛产品。
一、Al-SiPrep:(0.05μm)

这是业内早已熟知的混合型氧化物抛光液。专为对水敏感材料开发,将氧化铝的机械去除特性与二氧化硅的化学-机械特性合二为一。
1. 兼顾去除率与表面质量
● 氧化铝(多面体颗粒):通过机械剪切高效率去除材料,快速消除前道工序残留的变形层。
● 二氧化硅(球形颗粒):通过CMP机制获得高等级表面光洁度,清晰揭示晶界、枝晶等微观细节。
两者协同,既有“刚”的去除效率,又有“柔”的表面质量。
2. 应对“软硬兼有”的混合材料
对于同时含有软相和硬相的样品(如焊料+铜互连、铸铁石墨+基体),纯氧化铝可能在软相中造成嵌入或拖曳划痕,而纯二氧化硅去除硬质相效率偏低。硅-铝混合液利用氧化铝有效去除硬质相,同时利用二氧化硅柔和处理软相,减少浮雕效应和划痕。
3. 对铁基/有色金属更友好
针对易发生电化学腐蚀的材料(如镀锌钢),混合后的pH值更接近中性,有助于减少选择性侵蚀或点蚀风险。
二、AluminaDia:胶体氧化铝+多晶金刚石混合抛光悬浮液(6-0.1μm)
这是精密光学抛光工艺的创新成果,专门解决光学产品(如氟化钙、硫化锌、硒化锌等)抛光中“效率慢、表面粗糙度不达标”的痛点。
由纳米级相态氧化铝微晶与特定粒度的精细金刚石粉末按特定比例混合,pH值维持在8.5,实现两者性能的良好搭配——在提升材料去除率的同时,获得无划痕、无麻点的平整表面。
针对光学产品的生产节奏,AluminaDia提供从6μm、3μm、1μm、0.3μm到0.1μm的全系列粒度,具备四大优势:
● 氧化铝成分使悬浮液可循环使用;
● 采用可控的粒径分布,保障表面一致性;
● 化学稳定性良好,无需搅拌即可保持稳定达六个月;
● 可通过稀释调节工艺参数,灵活控制摩擦系数和去除率。
小结:混合型氧化物是“1+1>2”的典型代表。但无论是氧化铝、二氧化硅还是它们的组合,对某些光学材料而言,还有另一类针对性很强的“智取专家”尚未登场——下一篇,我们看氧化铈如何凭借“化学兵法”征服光学镜面。
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